在內(nèi)壓縮流程空分設(shè)備中，液氮泵一般選用多級(jí)離心泵，為了保證液氮泵的穩(wěn)定運(yùn)行，泵的密封大多采用充氣迷宮的結(jié)構(gòu)形式。 密封氣需要有充足的流量來加溫從迷宮密封泄漏的低溫液體，當(dāng)密封氣流量減少到某一臨界點(diǎn)時(shí)，密封氣的排氣溫度就會(huì)大幅度下降并造成泵聯(lián)鎖停運(yùn)，隨著泵在不平穩(wěn)狀態(tài)下運(yùn)行的時(shí)間越來越長，會(huì)造成迷宮

用深冷法進(jìn)行空氣分離時(shí)，從空壓機(jī)吸入大氣中的原料空氣，到較終得到所需的氧、氮、氬等氣體和液體產(chǎn)品，整個(gè)過程都是在密閉的容器、管道中進(jìn)行。在設(shè)備開停和正常運(yùn)行時(shí)，每個(gè)流程都必須嚴(yán)格地控制相關(guān)參數(shù)的數(shù)值，包括壓力、溫度、流量、阻力、液面、轉(zhuǎn)速、電壓、電流、成份分析等。下面介紹一些測(cè)量溫度、壓力、流量的儀