空氣分離在稀有氣體提純中至關(guān)重要??諝庵饕傻?dú)?、氧氣等組成,也含有氬、氖、氦等稀有氣體。通過(guò)低溫精餾等空氣分離技術(shù),可先將空氣液化,再利用各組分沸點(diǎn)差異進(jìn)行分離,初步得到含稀有氣體的混合物。之后,采用吸附、膜分離等進(jìn)一步提純手段,去除雜質(zhì)氣體,提高稀有氣體純度。例如,從粗氬中去除氮、氧等雜質(zhì)可獲得高純氬。空氣分離為稀有氣體提純提供了基礎(chǔ)原料,滿足了電子、醫(yī)療等領(lǐng)域?qū)Ω呒兿∮袣怏w的需求。